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SuperViewW白光干涉微觀三維形貌測(cè)量?jī)x測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。

有圖晶圓共聚焦高精度測(cè)量顯微鏡橫向分辨率高，所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。可測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

NS系列微觀二維形貌輪廓臺(tái)階測(cè)量?jī)x是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器，主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。能夠測(cè)量納米到330μm或1050μm的臺(tái)階高度。

NS系列探針式輪廓薄膜表面臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器，其主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測(cè)量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。

VT6000材料共聚焦3D測(cè)量顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

NS系列探針接觸式臺(tái)階高度儀主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量，是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器。采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率。